主要用途(tu)有：

1、各種功能(neng)性薄(bo)膜(mo)：如(ru)具(ju)有吸收、透射(she)、反射(she)、折射(she)、偏光等作(zuo)用的薄(bo)膜(mo)。例如(ru)，低溫沉積氮化硅減反射(she)膜(mo)，以提高太陽能(neng)電池的光電轉換效(xiao)率。

2、裝飾領(ling)域的(de)應用，如各(ge)種(zhong)全(quan)反(fan)射膜(mo)及半透明膜(mo)等，如手機外殼，鼠標等。

3、在(zai)微電子領(ling)域作為(wei)一種非熱(re)式鍍膜技術，主要應用(yong)在(zai)化學氣(qi)相沉(chen)積(CVD)或(huo)金屬(shu)有機

4、化(hua)學氣相(xiang)沉(chen)積(ji)(CVD)生長困難及(ji)不適用的(de)材(cai)料薄(bo)膜(mo)沉(chen)積(ji)，而且可以獲得大面積(ji)非常均勻(yun)的(de)薄(bo)膜(mo)。

5、在光(guang)學領(ling)域：中頻(pin)(pin)閉合場非(fei)平衡磁控濺(jian)射(she)技術也(ye)已在光(guang)學薄膜(如增透膜)、低輻射(she)玻璃(li)和透明導電(dian)玻璃(li)等方面得到應(ying)用(yong)。特別是透明導電(dian)玻璃(li)廣(guang)泛應(ying)用(yong)于(yu)平板(ban)顯示器(qi)件(jian)、太陽能電(dian)池(chi)、微波與射(she)頻(pin)(pin)屏(ping)蔽裝置與器(qi)件(jian)、傳感器(qi)等。

6、在機械加工行(xing)業中，表面(mian)(mian)功能膜(mo)、超硬膜(mo)，自潤(run)滑(hua)薄膜(mo)的(de)表面(mian)(mian)沉(chen)積技術自問世以來得到長(chang)足發展，能有(you)效的(de)提高(gao)表面(mian)(mian)硬度(du)、復合韌性、耐(nai)磨(mo)損性和抗高(gao)溫化學穩定性能，從而大幅度(du)地(di)提高(gao)涂層產品的(de)使用壽命。

磁控濺(jian)射除上述(shu)已被大量應用的領域，還在高溫超(chao)導薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)、鐵電體薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)、巨磁(ci)阻(zu)薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)、薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)發光(guang)材料、太陽能電池、記(ji)憶合金薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)研究方(fang)面發揮重要作(zuo)用。